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各类真空泵适用的工艺类型


1)水环真空泵。适用于真空浓缩、真空脱水、真空脱色、真空干燥、真空保险、真空储藏、真空输送、真空成型等工艺。
2)往复真空泵。适用于真空蒸馏、真空浓缩、真空浸渍、真空过滤、真空造型、真空干燥、钢液真空处理等工艺。往复真空泵与水环真空泵使用的工艺基本相同。但是。往复真空泵不能直接抽水蒸汽,需要抽水蒸气时一定要配备冷阱,采用制冷压缩机系统冷却。
3)油封机械真空泵(包括滑阀泵、旋片泵、定片泵)。适用与真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺中使用。当前,旋片式油封机械真空泵(如普旭真空泵),做为直排大气的前级泵,使用的量大面广。
4)罗茨真空泵(机械增压泵)。适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺中使用。绝大多数罗茨泵都不能直排大气,需要配合旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气,主要用于造纸工业中。
5)油增压泵。适用于真空冶炼、真空烧结、真空钎焊、真空热处理等工艺中使用。它与机械增压泵相类似,不能直排大气,必须用旋片泵或滑阀泵等作为前级泵。
6)油扩散泵。适用于真空镀膜、真空热处理、真空热处理、真空冶炼、真空提纯、电子真空器件、真空分析仪器、真空检漏仪、宇宙空间真空模拟装置、加速器真空系统等工艺中使用。它适合于抽取高真空使用,本身不能直排大气,必须配备前级真空泵。
7)干泵(包括螺杆泵、涡旋泵、和爪形泵)。适用于无油清洁的真空工艺过程,例如半导体行业、电子行业、化工行业等各种工艺使用,这几种泵都能直排大气。
8)吸附泵。适合于各种真空电子器件、集成电路、分析仪器、表面仪器以及各种要求清洁无油的真空系统中使用。
9)钛泵(包括溅射离子泵、升华泵)。适用于真空镀膜、大规模集成电路、表面物理和表面化学、热核物理、等离子体物理和超导技术等工作中使用。
10)分子泵。适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应和宇航技术工作中使用。
11)水喷射泵。适合于真空导料、真空输送、轻工、化工、化纤、制药、涂料、油脂、造纸、烧碱、制糖、食品、制砖和真空除氧等工艺领域中使用。
12)水蒸气喷射泵。适合于真空冶烧、真空脱气、真空蒸发、真空干燥和真空回潮等工艺中使用。
13)低温泵。适合于真空镀膜、表面物理、超导技术和宇航技术等工作中使用。
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